Faseroptische Sensoren

Flexible Präzision

Die faseroptischen Distanzmesssysteme der Serie FDM arbeiten mit hochpräzisen Interferometern für berührungslose Abstands-, Form- und Rauheitsmessungen mit einer Auflösung im Sub-Nanometerbereich. Die speziell konfektionierten Miniatursonden auf Lichtleiterbasis bieten enorme Flexibilität. Mit Durchmessern ab 50 µm erreichen sie auch sehr kleine oder schwer zugängliche Bauräume. Sie scannen Spritzlöcher von Einspritzdüsen oder kleine Zahnzwischenräume von Präzisionszahnrädern. Für größere Bauräume stehen Standard-Messsonden mit Durchmessern von 0,8 und 1,3 mm zur Verfügung.

Durch den modularen Aufbau der Messgeräte können Sonde und Auswerteeinheit nahezu beliebig weit voneinander entfernt aufgestellt werden. Hohe Messfrequenzen, integrierte Schnittstellen und systemspezifische Softwarelösungen ermöglichen außerdem eine vollständige Einbindung in automatisierte Produktionsprozesse. Für Inline-Messungen im Produktionstakt.

Produktbroschüre Faseroptische Distanzmesssysteme Vorderseite

Produktbroschüre Faseroptische Distanzmesssysteme Rückseite

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Ihre Vorteile

Messung in kleinsten Bauräumen (ab Ø 0,1 mm)

Ergebnisse mit Nanometergenauigkeit

Berührungslos und verschleißfrei

Ideal für eine schnelle 100-Prozent-Prüfung

Nahezu material- und oberflächenunabhängig

Einzelpunkt- und Mehrstellenmessungen möglich

Erzeugung von 2D-Profilen und 3D-Punktewolken

Normgerechte Qualitätskontrolle nach DIN EN ISO

Voll automatisierbar und integrierbar

Elektromagnetisch verträglich (EMV)

Systemkenndaten

FDM-1

Für höchste Genauigkeit

Messbereich	80 µm
Genauigkeit (typ. Standardabweichung)	< 3 nm*
Durchmesser Messsonde	≥ 50 µm

*Bei Punktmessung mit einem Arbeitsabstand von 0,1 mm auf poliertem Glas.

FDM-2

Großer Messbereich

Messbereich	1 mm
Genauigkeit (typ. Standardabweichung)	< 10 nm*
Durchmesser Messsonde	≥ 50 µm

*Bei Punktmessung mit einem Arbeitsabstand von 0,1 mm auf poliertem Glas.

Allgemeine Parameter

Faseroptisches Distanzmesssystem FDM-1 Frontansicht

Faseroptisches Distanzmesssystem FDM-1 Rückseite mit Schnittstellen

Faseroptisches Distanzmesssystem FDM-2 Frontansicht

Messprinzip	kurzkohärente Interferometrie
Sondendurchmesser	0,05 / 0,08 / 0,125 / 0,8 / 1,3 – 5 mm
Messbare Materialien und Oberflächen	Glas, Metall, Keramik, Kunststoff u.a. – transparent, spiegelnd, matt
Innendurchmesser Prüfling	ab 0,1 mm
Messrichtung	axial (0°), winklig (45° – 90°)
Messfrequenz	bis zu 20 kHz (abhängig vom Messobjekt)
Mehrstellenmessung	paralleles oder sequentielles Auslesen mehrerer Sonden möglich
Software	FDMControl (Steuerung) / DataViewer (Auswertung)
Programmierschnittstellen	API, DLL
Systemschnittstellen (konfigurierbar)	Trigger IN, Gate IN, Trigger OUT: TTL 5V, Ethernet, GPIO
Stromversorgung	230 V (AC)

Anwendungen

Die FDM-Sensorik eignet sich besonders für Anwendungen in der Präzisions- und Ultrapräzisionsfertigung. Schwer zugängliche Oberflächenstrukturen und Bauräume können mit den miniaturisierten Sonden flexibel, berührungslos und hochgenau geprüft werden.

Charakterisierung von Oberflächen

Erfassung von Rauheit und Welligkeit an technischen Oberflächen
Überwachung und Feststellung von Werkzeugverschleiß
Prüfung von Optiken, Wafern und Optical Flats
Messungen im Scanbetrieb zur 2D/3D-Darstellung
z.B. von Freiformflächen wie Zahnradflanken

Hochgenaue Abstandsmessung

Messung von Ausdehnung, Drift und Vibrationen an Ultrapräzisions- und Werkzeugmaschinen
Positionserfassung zur hochgenauen Ausrichtung von Präzisionsbauteilen
auch mittels Mehrstellenmesstechnik möglich